这种形式的洁净隧道是将洁净工作台相互连接在一起，并取消中间的侧壁，组成生产需要的隧道型生产线。当工艺要求垂直层流时，可选用垂直层流工作台。当工艺要求水平层流时，则选用水平层流工作台。这种净化方式较全室净化更易保证局部空间的高洁净度，并由于工作台相互连接，可以减少或防止交叉污染。此外，对建筑的要求比较简单，只要求具备乱流洁净室的环境即可。其缺点是洁净工作台的尺寸固定，使操作面缺乏足够的灵活性，工艺设备必须适应工作台的尺寸，调整起来也不大方便。

　　这种形式的洁净隧道是将洁净棚，即棚式垂直层流单元串联在一条生产线上所组成的。根据工艺要求，洁净棚的面积可以变化，空气可以全部为室内循环式，也可连通集中式净化空调系统，吸取部分新风。棚式洁净隧道适合于工艺设备较大的场所。

　　这种形式的洁净隧道是将层流罩，即罩式垂直层流单元串联在一条生产线上所组成的。由于层流罩的进深比洁净棚小，只适用于工艺设备较小的场所。空气循环方式与棚式洁净隧道和台式洁净隧道相同，是目前采用较多的一种洁净隧道。

　　这种形式的洁净隧道是由集中式送风系统的满布高效过滤器的静压箱所组成的。层流工作区的宽度可依照工艺提出的要求确定，而不像台式、棚式和罩式洁净隧道那样，因局部净化设备的尺寸而限制层流工作区的宽度，设计可以更为灵活。采用这种形式时，回风可以通过技术夹道，也可像图这样，在乱流操作活动区设置地沟。此外，工业管道可布置在工作区的沿壁板一侧，排风管接至地沟。

　　利用空气加热器中通入热水或蒸汽，可以实现空气等湿加热过程，空气加热器通常用于空调系统的一次加热和二次加热，可以提供较大的供热量，并且比较经济。

　　利用电加热器是让电流通过电阻丝发热来加热空气。电加热器有加热均匀、热量稳定、效率高、结构紧凑和控制方便等优点。因此，在空调机组和小型空调系统中应用较广。在恒温精度要求较高的大型空调系统中和净化空调系统中，也经常在送风支管上使用电加热器来控制局部加热，这就是所谓的第三次加热或叫精加热。但是，采用电加热器要耗费较多的电能，所以在加热量要求较大的地方不宜采用。

　　利用普通的蒸汽喷管对空气进行加湿。普通的蒸汽喷管是由略粗于供汽管道的管子组成，上面开有若干直径为2—3mm的小孔。蒸汽在管网压力作用下，由这些小孔喷出，混到从蒸汽管周围流过的空气中去，使空气得到加湿。普通的蒸汽管虽然构造简单，容易加工，但喷出的蒸汽往往夹带凝结水滴，影响加湿效果的控制。通常用于湿度要求不严格的系统中。

　　（1）风管和部件应采用优质镀辞钢板，风管内表面必须平整光滑，不得在管内加固风管，咬接应采用联合角咬口，接缝必须涂密封胶。风管连接不应采用内法兰。风管必须设密封清扫孔，总管上应有风量测定孔(支干管上根据需要设置）过滤器前后要有测压孔。防爆区排风管咬口缝要用焊锡密封。

　　（2）风管安装之后、保温之前应进行漏风检查。送回风管用漏光法检查应无漏光，系统空调器漏风率不应大于2%。擦拭空调系统内表面采用不易掉纤维的材料。

　　（3）高效过滤器安装前必须对洁净房间和净化空调系统全面清扫、擦洗，达到清洁要求后，开启净化空调系统连续试运行12小时以上，再次清扫，擦洗洁净室，立即安装高效过滤器。

　　（4）高效过滤器安装前，应在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括纸、滤密封胶、框架、几何尺寸及光洁度等是否符合设计要求，然后进行检漏，检查和检漏合格后应立即安装。不合格产品不得安装。

　　(1)在隧道内造成不同的洁净度，从而充分利用了不同洁净气流的特性，大限度地满足工艺要求。一般情况下，隧道内的两侧是高洁净度的层流工作区，中间是乱流的操作活动区。工艺区连成一条线，使用方便，人员的活动也不会引起交叉污染。

　　(2)由于在隧道内减少了层流面积，基建费用和运行费用要比全室净化的垂直层流洁净室节约三分之一以上。乱流活动操作区的净高较层流工艺区高得多，能满足人员舒适感的要求。

　　(3)技术夹道既可作为回风道，又可布置各种工业管道，安装工艺辅助设备。组成洁净隧道的局部净化设备(洁净工作台、洁净棚和层流罩等)、工业管道以及工艺辅助设备的维修均可在技术夹道内进行。由于技术夹道相对于洁净隧道为负压，因此，维修工作不会引起洁净隧道的污染，维修工作可在不停止工艺生产的情况下进行。

　　洁净隧道所需的局部净化设备、顶棚、壁板、回风口及门窗等构件，可以标准化、模数化，由工厂加工生产，在现场组装。同时，洁净隧道可以迅速拆装，重新组合，为工艺变化提供了方便。

　　(4)洁净隧道可以按一定规模配置净化空调系统，因此空调系统可通用化、系列化，从而可以大大缩短设计周期。

　　(5)一般情况下，洁净隧道对于建筑方面的要求比较简单，只要具备乱流洁净室的环境，即可满足要求。

　　a．为防止污染空气渗入净化空调系统而再次污染中效过滤器后的空气，中效过滤韶一般应设置在系统的正压段。

　　b．为防止高效过滤器后的空气再次被污染，高效过滤器应尽量布置在系统末端即尽量靠近洁净室的送风口。一般情况下不宜采用在空调机房内或离洁净室送风口较远的送风管道上集中布置高效过滤器的做法。

　　c．当回风含尘浓度较高或有大粒径灰尘、纤维等情况下，可在回风口或回风管道上设置中效过滤器。

　　d．在围护结构比较严密的条件下，为防止系统停止运行后室外污染空气由新风口进入洁净室，除在回风口或回风管道上设置中效过滤器外，可在新风人口管道上设置电动密闭阀并与风机连锁。当风机启动时，密闭阀打开，停止运行时关闭；或在新风人口管道上设置一般调节阀，再增设一道中效过滤器。

　　为了在操作中尽量削减人活动发生的污染，人员在进入无尘区之前，有必要替换无尘服并洗手、消毒、过风淋。这些措施即；人员净化。

　　人员净化用房中替换无尘服的房间应予送风，并对进口侧等其他房间坚持正压，对厕所、淋浴坚持少量正压，而厕所、淋浴应坚持负压。

　　物料净化道路与人净道路应分隔，如果物料与人员只能在同一处进入无尘车间，也有必要分门而入，物料先通过粗净化处理。

　　如果出产流水线很强，则选用直通式物料道路，有时还需求在直通道路中心设屡次净化、传递设备。

　　在体系规划上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对无尘区应坚持负压或零压，如果污染危险性大则对进口方向也要坚持负压。

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